微波等離子非常適合于OLED電極區(qū)域的有機(jī)物去除清洗。其原理類似于常壓,利用低能量的微波束產(chǎn)生等離子流體,對產(chǎn)品表面的有機(jī)物進(jìn)行氧化消除。
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