普洛泰科
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產(chǎn)品名稱：晶圓紫外線照射機(jī)
晶圓紫外線照射機(jī)| ■ 用途：晶圓粘付藍(lán)膜后進(jìn)行UV照射以減弱其粘性便于后續(xù)的拾取封裝工序。 |
| ■ 尺寸：L1500*W1500*H1200mm |
| ■ 性能：Magazine式的晶圓投入取出機(jī)構(gòu)，內(nèi)部三軸機(jī)械手抓取晶圓后投入至紫外線中照射。 |
| ■ 紫外波長：365nm |
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