普洛泰科
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產品名稱：晶圓FOUP潔凈度檢測設備(型號:FLATT12 )
晶圓FOUP內潔凈度檢測設備晶圓FOUP內潔凈度檢測設備。
可檢測6inch,8inch,12inch的晶圓FOUP。
可同時測試4種顆粒直徑，可設定顆粒大小，最小100nm.
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