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產(chǎn)品名稱:高性能微電子產(chǎn)業(yè)HEPA FFU(型號(hào):FFU850450 / FFU450450)
OLED顯示/半導(dǎo)體封測(cè)/先進(jìn)封裝行業(yè)專用,可除靜電的新型FFU(1)型號(hào) | FFU850450 / FFU450450 |
(2)風(fēng)速 | 0.2~2.0m/s |
(3)過濾效率 | 99.99% @0.3um |
(4)噪聲 | ≤65dB @3000RPM |
(5)供電功率 | AC100-240V/50HZ 260W |
(6)尺寸(L/W/H) | 850×450×225mm/450×450×225mm |
(7)重量 | 11kg/9.5kg(配置除靜電模塊后18/15kg) |
(8)在線粒子計(jì)數(shù)器(OP) | 輸出直徑0.3/0.5/1.0/2.5/5.0/10um粒子數(shù),有線/無線通信 |
(9)實(shí)時(shí)粒子監(jiān)控看板(OP) | 控制FFU轉(zhuǎn)速,監(jiān)測(cè)各直徑粒子數(shù)量 |
(10)在線靜電檢測(cè)儀(OP) | 可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)來料產(chǎn)品的表面靜電帶電量 |
(11)除靜電功能(OP) | 7.0KV鎢針放電網(wǎng),1000V→100V耗時(shí)0.5秒 |
(12)中央控制軟件(OP) | PC端中央控制軟件,兼容Windows7/10/11 |
(13)外部通信規(guī)格 (14)濾芯壽命提醒 | MODBUS TCP/MODBUS RTU/無線LORA 濾芯使用時(shí)間到達(dá)后可提示報(bào)警 |
電話:86-512-62822169
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